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1.半導體設備零組件製造
2.AMAT-CVD
1.晶圓手臂吸片(Paddle)
2.加熱盤(Heater/Hot-Plate)
3.真空水盤
4.加熱吸盤(Hot-Chuck)
5.真空(金屬、陶瓷、焊接)絕緣轉接頭(Fed through)
6.真空腔體(Chamber)
7.鐵氟龍伸縮軟管(Teflon)
 

 

 
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