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1.半导体设备零组件制造
2.AMAT-CVD
1.晶圆手臂吸片(Paddle)
2.加热盘(Heater/Hot-Plate)
3.真空水盘
4.加热吸盘(Hot-Chuck)
5.真空(金属、陶瓷、焊接)绝缘转接头(Fed through)
6.真空腔体(Chamber)
7.铁氟龙伸缩软管(Teflon)
 

 

 

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